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[반도체실무과정] 8대공정 세정 및 박막 공정

과정 이미지
[반도체실무과정] 8대공정 세정 및 박막 공정 과정정보
교육시간 16시간
수강기간 30일
강의구성 16차시
수강료 120,000원
과정소개

[반도체실무과정] 8대공정 시리즈

 

교육대상

반도체 제조 공정 관련 직무 종사자

 

학습내용

1 . Cleaning 과정 소개

2 . Cleaning 공정의 목적 소개 및 오염의 종류와 영향

3 . Cleaning의 방법 - 습식 세정

4 . Cleaning의 방법 - 습식 세정 장치

5 . Cleaning의 방법 - 건식 세정 (1)

6 . Cleaning의 방법 - 건식 세정 (2) 및 세정 장치의 변천

7 . Drying(건조) 공정의 이해

8 . Cleaning 불량 사례와 공정실무

9 . CVD 과정 소개

10 . CVD의 용어

11 . CVD의 정의 및 원리

12 . CVD 방식의 종류와 장단점 (1)

13 . CVD 방식의 종류와 장단점 (2)

14 . CVD 막의 종류

15 . MOCVD

16 . CVD 불량 사례와 CVD 엔지니어의 직무

 

▶수료기준

항목

진도율

진행단계평가

최종평가

과제

수료점수

평가비율

100%

0%

0%

0%

60점이상

수료조건

80%

없음

없음

없음

※ 수료기준은 각 평가항목의 점수가 수료기준 점수 이상이고 총점이 60 이상이어야 합니다.

학습목표
1. 반도체 8대공정 중 세정 및 박막 공정에 대해 설명할 수 있다.
강의목차
차시 강의명
1차시 1 . Cleaning 과정 소개
2차시 2 . Cleaning 공정의 목적 소개 및 오염의 종류와 영향
3차시 3 . Cleaning의 방법 - 습식 세정
4차시 4 . Cleaning의 방법 - 습식 세정 장치
5차시 5 . Cleaning의 방법 - 건식 세정 (1)
6차시 6 . Cleaning의 방법 - 건식 세정 (2) 및 세정 장치의 변천
7차시 7 . Drying(건조) 공정의 이해
8차시 8 . Cleaning 불량 사례와 공정실무
9차시 9 . CVD 과정 소개
10차시 10 . CVD의 용어
11차시 11 . CVD의 정의 및 원리
12차시 12 . CVD 방식의 종류와 장단점 (1)
13차시 13 . CVD 방식의 종류와 장단점 (2)
14차시 14 . CVD 막의 종류
15차시 15 . MOCVD
16차시 16 . CVD 불량 사례와 CVD 엔지니어의 직무
평가정보
평가정보
구분 배점 평가명
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