반도체 이온주입 공정의 핵심 개념과 실무 적용 방법을 체계적으로 학습하는 강의입니다. 이론부터 실제 장비 원리, 주요 변수, 최신 트렌드까지 함께 제공합니다.
▶교육대상
1. 방대한 이온주입공정 내용을 핵심위주로 정리하고 싶은 분
2. 이온주입 공정 장비&과정에 대해 제대로 알고 싶으신 분
3. 반도체에 관심있는 학습자
▶학습내용
1. 이온주입 공정 개요
2. 이온주입 장비
3. 이온주입 공정 모델링
4. 이온주입 공정 문제
5. 이온주입 Damage
6. Annealing
▶수료기준
항목 |
진도율 |
진행단계평가 |
최종평가 |
과제 |
수료점수 |
평가비율 |
100% |
0% |
0% |
0% |
60점이상 |
수료조건 |
80% |
없음 |
없음 |
없음 |
※ 수료기준은 각 평가항목의 점수가 수료기준 점수 이상이고 총점이 60점 이상이어야 합니다.