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CMOS Integration
- 교육기간
- 30일
- 강의구성
- 10차시
CMOS Integration 과정
▶교육대상
- 반도체 제조 공정 관련 직무 종사자
▶학습내용
1 . Device Trend 및 Fab 8대공정의 간단 Summary
2 . Fab 투입 전 사전 준비되어야 할 사항 (1)
3 . Fab 투입 전 사전 준비되어야 할 사항 (2)
4 . Fab 투입 전 사전 준비되어야 할 사항 (3)
5 . Active Module
6 . Gate Module (1)
7 . Gate Module (2)
8 . Contact Module
9 . BEOL Module - Metal 1
10 . BEOL Module - Metal 2
▶수료기준
|
항목 |
진도율 |
진행단계평가 |
최종평가 |
과제 |
수료점수 |
|
평가비율 |
100% |
0% |
0% |
0% |
60점이상 |
|
수료조건 |
80% |
없음 |
없음 |
없음 |
※ 수료기준은 각 평가항목의 점수가 수료기준 점수 이상이고 총점이 60점 이상이어야 합니다.
학습목표
1. Fab 투입 전 사전 준비되어야 할 사항에 대해 설명할 수 있다.2. Active Module에 대해 설명할 수 있다.
3. Gate Module에 대해 설명할 수 있다.
4. Contact Module에 대해 설명할 수 있다.
5. BEOL Module에 대해 설명할 수 있다.
강의목차(총 10강)
-
1. 1 . Device Trend 및 Fab 8대공정의 간단 Summary 26분
2. 2 . Fab 투입 전 사전 준비되어야 할 사항 (1) 28분
3. 3 . Fab 투입 전 사전 준비되어야 할 사항 (2) 23분
4. 4 . Fab 투입 전 사전 준비되어야 할 사항 (3) 30분
5. 5 . Active Module 31분
6. 6 . Gate Module (1) 26분
7. 7 . Gate Module (2) 31분
8. 8 . Contact Module 27분
9. 9 . BEOL Module - Metal 1 30분
10. 10 . BEOL Module - Metal 2 25분
