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![[반도체실무과정] 8대공정 세정 및 박막 공정 과정이미지](/theme/6/img/apply/view_blank.png)
[반도체실무과정] 8대공정 세정 및 박막 공정
- 교육기간
- 30일
- 강의구성
- 16차시
[반도체실무과정] 8대공정 시리즈
▶교육대상
- 반도체 제조 공정 관련 직무 종사자
▶학습내용
1 . Cleaning 과정 소개
2 . Cleaning 공정의 목적 소개 및 오염의 종류와 영향
3 . Cleaning의 방법 - 습식 세정
4 . Cleaning의 방법 - 습식 세정 장치
5 . Cleaning의 방법 - 건식 세정 (1)
6 . Cleaning의 방법 - 건식 세정 (2) 및 세정 장치의 변천
7 . Drying(건조) 공정의 이해
8 . Cleaning 불량 사례와 공정실무
9 . CVD 과정 소개
10 . CVD의 용어
11 . CVD의 정의 및 원리
12 . CVD 방식의 종류와 장단점 (1)
13 . CVD 방식의 종류와 장단점 (2)
14 . CVD 막의 종류
15 . MOCVD
16 . CVD 불량 사례와 CVD 엔지니어의 직무
▶수료기준
|
항목 |
진도율 |
진행단계평가 |
최종평가 |
과제 |
수료점수 |
|
평가비율 |
100% |
0% |
0% |
0% |
60점이상 |
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수료조건 |
80% |
없음 |
없음 |
없음 |
※ 수료기준은 각 평가항목의 점수가 수료기준 점수 이상이고 총점이 60점 이상이어야 합니다.
학습목표
1. 반도체 8대공정 중 세정 및 박막 공정에 대해 설명할 수 있다.강의목차(총 16강)
-
1. 1 . Cleaning 과정 소개 28분
2. 2 . Cleaning 공정의 목적 소개 및 오염의 종류와 영향 32분
3. 3 . Cleaning의 방법 - 습식 세정 31분
4. 4 . Cleaning의 방법 - 습식 세정 장치 29분
5. 5 . Cleaning의 방법 - 건식 세정 (1) 30분
6. 6 . Cleaning의 방법 - 건식 세정 (2) 및 세정 장치의 변천 35분
7. 7 . Drying(건조) 공정의 이해 22분
8. 8 . Cleaning 불량 사례와 공정실무 28분
9. 9 . CVD 과정 소개 23분
10. 10 . CVD의 용어 28분
11. 11 . CVD의 정의 및 원리 28분
12. 12 . CVD 방식의 종류와 장단점 (1) 32분
13. 13 . CVD 방식의 종류와 장단점 (2) 28분
14. 14 . CVD 막의 종류 25분
15. 15 . MOCVD 23분
16. 16 . CVD 불량 사례와 CVD 엔지니어의 직무 33분
