반도체 포토공정의 개념, 공정 흐름, 세부 공정, 해상도 개선 기술을 체계적으로 학습하는 강의입니다. 최신 EUV 기술과 포토공정 관련 내용도 다룹니다.
▶교육대상
1. 반도체 포토공정에 대한 실무적 이해가 필요한 학습자
2. 반도체에 관심있는 학습자
▶학습내용
1. 포토 공정 개요
2. 포토 공정 흐름
3. 포토 레지스트
4. 노광 공정
5. 해상도 개선 기술
6. 최신 포토 공정 기술 -EUV Lithography (1)
7. 최신 포토 공정 기술 -EUV Lithography (2)
▶수료기준
항목 |
진도율 |
진행단계평가 |
최종평가 |
과제 |
수료점수 |
평가비율 |
100% |
0% |
0% |
0% |
60점이상 |
수료조건 |
80% |
없음 |
없음 |
없음 |
※ 수료기준은 각 평가항목의 점수가 수료기준 점수 이상이고 총점이 60점 이상이어야 합니다.