CMOS Integration 과정

 

▶교육대상

- 반도체 제조 공정 관련 직무 종사자

 

▶학습내용

1 . Device Trend 및 Fab 8대공정의 간단 Summary

2 . Fab 투입 전 사전 준비되어야 할 사항 (1)

3 . Fab 투입 전 사전 준비되어야 할 사항 (2)

4 . Fab 투입 전 사전 준비되어야 할 사항 (3)

5 . Active Module

6 . Gate Module (1)

7 . Gate Module (2)

8 . Contact Module

9 . BEOL Module - Metal 1

10 . BEOL Module - Metal 2

 

▶수료기준

항목	진도율	진행단계평가	최종평가	과제	수료점수
평가비율	100%	0%	0%	0%	60점이상
수료조건	80%	없음	없음	없음

※ 수료기준은 각 평가항목의 점수가 수료기준 점수 이상이고 총점이 60점 이상이어야 합니다.

1. Fab 투입 전 사전 준비되어야 할 사항에 대해 설명할 수 있다.
2. Active Module에 대해 설명할 수 있다.
3. Gate Module에 대해 설명할 수 있다.
4. Contact Module에 대해 설명할 수 있다.
5. BEOL Module에 대해 설명할 수 있다.