[반도체실무과정] 8대공정 세정 및 박막 공정
과정소개
[반도체실무과정] 8대공정 시리즈
▶교육대상
- 반도체 제조 공정 관련 직무 종사자
▶학습내용
1 . Cleaning 과정 소개
2 . Cleaning 공정의 목적 소개 및 오염의 종류와 영향
3 . Cleaning의 방법 - 습식 세정
4 . Cleaning의 방법 - 습식 세정 장치
5 . Cleaning의 방법 - 건식 세정 (1)
6 . Cleaning의 방법 - 건식 세정 (2) 및 세정 장치의 변천
7 . Drying(건조) 공정의 이해
8 . Cleaning 불량 사례와 공정실무
9 . CVD 과정 소개
10 . CVD의 용어
11 . CVD의 정의 및 원리
12 . CVD 방식의 종류와 장단점 (1)
13 . CVD 방식의 종류와 장단점 (2)
14 . CVD 막의 종류
15 . MOCVD
16 . CVD 불량 사례와 CVD 엔지니어의 직무
▶수료기준
항목 |
진도율 |
진행단계평가 |
최종평가 |
과제 |
수료점수 |
평가비율 |
100% |
0% |
0% |
0% |
60점이상 |
수료조건 |
80% |
없음 |
없음 |
없음 |
※ 수료기준은 각 평가항목의 점수가 수료기준 점수 이상이고 총점이 60점 이상이어야 합니다.
학습목표
1. 반도체 8대공정 중 세정 및 박막 공정에 대해 설명할 수 있다.
강의목차
차시 | 강의명 |
---|---|
1차시 | 1 . Cleaning 과정 소개 |
2차시 | 2 . Cleaning 공정의 목적 소개 및 오염의 종류와 영향 |
3차시 | 3 . Cleaning의 방법 - 습식 세정 |
4차시 | 4 . Cleaning의 방법 - 습식 세정 장치 |
5차시 | 5 . Cleaning의 방법 - 건식 세정 (1) |
6차시 | 6 . Cleaning의 방법 - 건식 세정 (2) 및 세정 장치의 변천 |
7차시 | 7 . Drying(건조) 공정의 이해 |
8차시 | 8 . Cleaning 불량 사례와 공정실무 |
9차시 | 9 . CVD 과정 소개 |
10차시 | 10 . CVD의 용어 |
11차시 | 11 . CVD의 정의 및 원리 |
12차시 | 12 . CVD 방식의 종류와 장단점 (1) |
13차시 | 13 . CVD 방식의 종류와 장단점 (2) |
14차시 | 14 . CVD 막의 종류 |
15차시 | 15 . MOCVD |
16차시 | 16 . CVD 불량 사례와 CVD 엔지니어의 직무 |